追尾式レーザ干渉計による位置決め機械の検査方法及び装置
- 专利权人:
- 株式会社ミツトヨ
- 发明人:
- 谷中 慎一郎,奈良 正之
- 申请号：
- JP20160153262
- 公开号：
- JP2018021831(A)
- 申请日:
- 2016.08.03
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】測定点が厳密に配置されていなくとも、高速、高精度に位置決め機械の検査を行う事ができるようにする。【解決手段】レーザビームを用いてレトロリフレクタに追随する追尾式レーザ干渉計により位置決め機械を検査するに際して、位置決め機械１０によって測定した測定点ｐｉ、ｐｊの位置ベクトルを、追尾式レーザ干渉計３０の回転中心Ｍを通る直線ｇｋに正射影して得られた距離Δｄｉｊ,Ｃと、追尾式レーザ干渉計３０によって測定した距離Δｄｉｊ,Ｌを比較して、位置決め機械１０の位置決め精度を評価する。【選択図】図４
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