在单基板处理期间从基板中去除微量液体的装置和方法
- 专利权人:
- 艾奎昂技术股份有限公司
- 发明人:
- A·沃尔特
- 申请号：
- CN200580037823.0
- 公开号：
- CN101107490A
- 申请日:
- 2005.11.03
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2008
- 代理人:
- 马洪
- 摘要：
- 一种用于在单晶片处理舱中通过在基板接触可旋转支承件的那些区域处提供毛细材料来干燥基板的装置和方法。毛细材料用毛细力吸取留在基板和支承件之间接触区域的任何液体，由此降低基板的边缘排除区并提高成品率。在一个方面，本发明的装置包括：含有夹具的可旋转支承件，用于通过仅接触基板的周边区域来将基板支承为基本水平定向；包含一个或多个接触面的夹具，其中这些接触面包含毛细材料。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
