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压力检测器的调整装置
- 专利权人:
- 日机装株式会社
- 发明人:
- 真木秀人,长谷川晋也,江田祐树
- 申请号:
- CN201980008032.7
- 公开号:
- CN111630362A
- 申请日:
- 2019.01.18
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要:
- 提供一种压力检测器的调整装置,其可任意地调整膜部件的初始位置。压力检测器(S)的调整装置包括:控制部(E),该控制部(E)依次进行第1步骤和第2步骤,在第1步骤中,一边通过电磁阀(B)的封闭来封闭第1区域(K1),一边驱动泵(D),使第1区域(K1)为规定的调整压力,在该第2步骤中,解除电磁阀(B)的封闭,封闭气相部(S2)、第1区域(K1)和第2区域(K2);调整压力获得部(N),调整压力获得部(N)根据第1步骤时的第1区域(K1)的压力和容积与第2步骤时的气相部(S2)、第1区域(K1)和第2区域(K2)的压力和容积的关系,获得第1步骤的调整压力,其中,控制部(E)在第1步骤,按照形成调整压力获得部(N)所获得的调整压力的方式驱动泵(D)后,进行第2步骤,由此,使膜部件(M)处于与调整压力相对应的位置。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址:
- http://www.ckcest.cn/home/