用于观察样本表面的设备
- 专利权人:
- 皇家飞利浦电子股份有限公司
- 发明人:
- S·瓦德曼
- 申请号:
- CN200880108521.1
- 公开号:
- CN101809431B
- 申请日:
- 2008.09.23
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2014
- 代理人:
- 摘要:
- 一种用于观察半透明材料的样本(1)的表面(2)的外观的设备,设备包括:用于从预定方向至少照射样本(1)的表面的感兴趣区域(16)的光源(11)和用于观察对感兴趣区域(16)照射的响应的装置(14),其中,被照射的区域(5)包括:感兴趣区域(16)和感兴趣区域(16)周围的区域。由此,所发射的散射光(32)对样本(1)的外观的观察的准确性的影响被最小化。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心