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用于观察样本表面的设备
专利权人:
皇家飞利浦电子股份有限公司
发明人:
S·瓦德曼
申请号:
CN200880108521.1
公开号:
CN101809431B
申请日:
2008.09.23
申请国别(地区):
CN
年份:
2014
代理人:
摘要:
一种用于观察半透明材料的样本(1)的表面(2)的外观的设备,设备包括:用于从预定方向至少照射样本(1)的表面的感兴趣区域(16)的光源(11)和用于观察对感兴趣区域(16)照射的响应的装置(14),其中,被照射的区域(5)包括:感兴趣区域(16)和感兴趣区域(16)周围的区域。由此,所发射的散射光(32)对样本(1)的外观的观察的准确性的影响被最小化。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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