超声波元件及超声波装置
- 专利权人:
- 精工爱普生株式会社
- 发明人:
- 铃木博则,小岛力,大桥幸司,松本泰幸,今井克浩
- 申请号：
- CN201911013466.4
- 公开号：
- CN111084637A
- 申请日:
- 2019.23.10
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供了能够得到所期望的声音特性的超声波元件及超声波装置。超声波元件具备:元件基板,具有第一面、与第一面成为表里关系的第二面、贯通第一面至第二面的开口部以及包围开口部的隔壁部;支承膜,设置在元件基板的第一面且覆盖开口部,并具有面对开口部的第三面以及与第三面成为表里关系的第四面;压电元件,设置在支承膜的第四面,在从第三面朝向第四面的膜厚方向进行俯视观察时,配置在支承膜的与开口部重叠的区域;保护板,设置成与支承膜的第四面对置,通过粘合部件经由朝向支承膜突出的梁部接合至支承膜;以及壁部,设置在支承膜的第四面,在梁部和压电元件之间设置成朝向保护板突出。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
