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チャンバ構成要素にテクスチャを付ける方法およびテクスチャ付き表面を有するチャンバ構成要素
- 专利权人:
- アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ
- 发明人:
- ホワン シ,シュー ウェンロン
- 申请号：
- JP20170549565
- 公开号：
- JP2018502223(A)
- 申请日:
- 2014.12.15
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- チャンバ構成要素上のテクスチャ付き表面のための方法が提供され、この方法は、チャンバ構成要素を提供すること、チャンバ構成要素の表面にフォトレジストの層を塗布すること、マスクを使用して、フォトレジストの一部分を光エネルギーにさらして、フォトレジストの一部分を硬化させること、硬化していないフォトレジストを表面から除去すること、およびチャンバ構成要素を電気化学的にエッチングして、チャンバ構成要素上にテクスチャ付き表面を形成することを含む。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
