您的位置：
首页
>
农业专利
>
详情页
一种硅片脱胶工艺
- 专利权人:
- 浙江海顺新能源有限公司
- 发明人:
- 季丽,王松华,聂海洲,余志兵
- 申请号：
- CN201810413824.X
- 公开号：
- CN108711547A
- 申请日:
- 2018.05.03
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 翟羽
- 摘要：
- 本发明公开了一种硅片脱胶工艺，包括如下步骤：将硅片置于处理池内，并向处理池内添加去离子水，然后再次向处理池内添加脱胶液，使硅片静置35‑50min，然后进行喷洗处理，还需将喷洗水的温度控制在30‑35摄氏度，将处理后的硅片再次置于处理池内，并向其中添加脱胶液，在50‑60摄氏度的条件下对硅片进行震动，待其反应3‑6min后，对硅片进行超声清洗，将经过震动的硅片放置在超声波清洗器中进行浸泡，再次将硅片置于表面处理池内，并向其中添加表面处理液，在35‑45摄氏度的环境中浸泡30‑50min，并再次进行喷洗处理。本发明能够对硅片的残留胶进行全面的清理，从而保证了脱胶质量，还能够保证硅片的表面不受损伤。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
