Disclosed are a beam collimator and a device for measuring depth profiles of particle beams including the same. The beam collimator includes a housing and a shutter. The housing comprises: a first hole having a conical shape along a first direction starting from an inlet to an outlet a second hole formed in a second direction intersecting with the first direction by being diverged from the first hole adjacent to the inlet and a third hole disposed between the second hole and the outlet. The shutter opens and closes the third hole, and extends along an inner wall of the first hole.COPYRIGHT KIPO 2017본 발명은 빔 집속기 및 그를 구비하는 입자 빔 깊이 프로파일 측정 장치를 개시한다. 그의 집속기는, 하우징과 셔터를 포함한다. 하우징은 입구로부터 출구까지 제 1 방향으로 뿔 모양을 갖는 제 1 홀과, 상기 입구에 인접하는 상기 제 1 홀로부터 분기하여 상기 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로 형성된 제 2 홀과, 상기 제 2 홀과 상기 출구 사이에 배치된 제 3 홀을 가질 수 있다. 셔터는 제 3 홀을 개페하고, 제 1 홀의 내벽을 따라 연장할 수 있다.
