A differential pressure flow sensor that includes a plurality of channels divided into multiple sets of channels having different characteristics. Primary channels establish fluid communication between an inlet and an outlet of the flow sensor. Secondary channels establish fluid communication between the inlet and a first pressure port, but not the outlet. Tertiary channels establish fluid communication between the outlet and a second pressure port, but not the inlet. Signals generated at the first and second pressure port are used to determine a rate of flow through of gas through the sensor. Due to the structural features of the device, the phase delay of individual oscillatory flow components compared to corresponding oscillatory pressure components remains substantially constant across a wide range of flow rates.L'invention porte sur un capteur d'écoulement à pression différentielle, lequel capteur comprend une pluralité de canaux divisés en de multiples ensembles de canaux ayant des caractéristiques différentes. Des canaux primaires établissent une communication vis-à-vis des fluides entre une entrée et une sortie du capteur d'écoulement. Des canaux secondaires établissement une communication vis-à-vis des fluides entre l'entrée et un premier orifice de pression, mais non avec la sortie. Des canaux tertiaires établissent une communication vis-à-vis des fluides entre la sortie et un second orifice de pression, mais non avec l'entrée. Des signaux générés au niveau du premier et du second orifice de pression sont utilisés pour déterminer un débit d'écoulement traversant de gaz à travers le capteur. Du fait des caractéristiques structurelles du dispositif, le retard de phase de composantes d'écoulement oscillatoires individuelles par rapport à des composantes de pression oscillatoires correspondantes reste sensiblement constant sur une large plage de débits d'écoulement.
