您的位置：
首页
>
农业专利
>
详情页
基于大面积修复薄膜转移-加热治愈的微纳米褶皱祛除方法
- 专利权人:
- 上海交通大学
- 发明人:
- 胡开明,张文明,李修远,辛宜航,白欣茹
- 申请号：
- CN202010595654.9
- 公开号：
- CN111806038A
- 申请日:
- 2020.06.28
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 一种基于大面积修复薄膜转移‑加热治愈的微纳米褶皱祛除方法，利用晶圆级修复层薄膜湿法转移技术，将锗层/石墨烯上旋涂得到的均匀大面积PMMA薄膜修复层准确、无损地转移到已有褶皱图案PAN‑PDMS双层结构上表面，再结合多步低温加热平坦化工艺充分去除湿法转移过程中在PAN‑石墨烯/PMMA‑PDMS多层系统的界面处引入的残余液体和空气，使转移的修复层薄膜良好地贴合在已有褶皱表面，并利用不同表面层的褶皱触发临界应变条件不同，进而达到治愈已有褶皱的效果。本发明保证修复层薄膜厚度均匀性且尺度在晶圆级；通过多步低温加热平坦化工艺可以保证充分共型接触和界面结合强度，保证很好的祛皱效果，适用于解决人体皮肤祛皱、扫描电子显微镜表征过程褶皱失真问题和航空航天领域的大型薄膜褶皱消除技术。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
