一种MEMS压电超声泵
- 专利权人:
- 厦门大学
- 发明人:
- 郭航,韩瑞华,周辉,周赟磊
- 申请号：
- CN201710110220.3
- 公开号：
- CN106849747A
- 申请日:
- 2017.02.28
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 马应森
- 摘要：
- 一种MEMS压电超声泵，涉及压电超声泵。提供结构简单紧凑、体积微小型化、流量大、可靠性高、适用于微流控装置中的流体驱动、计算机CPU芯片与微器件及微系统的散热、生物医疗中的给药注射、航空航天中的测控等领域的一种MEMS压电超声泵。设有上硅片、下硅片、压电陶瓷片；所述上硅片和下硅片结构相同，上硅片和下硅片为圆环形，上硅片和下硅片上设有圆环形流道，上硅片和下硅片键合后形成MEMS压电超声泵的腔体；所述腔体设有入水口和出水口，压电陶瓷片贴合在下硅片上，相邻压电陶瓷片有间隔，且极化方向相反；在压电陶瓷片上下两面施加振幅相同、相位差为90°的高频交流电压。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
