To provide a calibration method of a measurement device capable of acquiring calibration data of a measurement device with high accuracy at a short time.SOLUTION: A calibration method of a measurement device is configured to: acquire a data set including N pieces of time series measurement data； set up-to-date measurement data to reference data； determine whether or not, a reference condition in which, reference difference between each of (N-1) pieces of measurement data and the reference data is equal to or less than a reference threshold, is satisfied； if the reference condition is not satisfied, except corresponding measurement data, and add newly acquired measurement data to the data set for the excepted data； repeat exception and addition of measurement data, setting of the reference data and determination of a reference condition, until the reference condition is satisfied； determine whether or not, the reference condition is continuously satisfied for a prescribed number； if the reference condition is not satisfied continuously for the prescribed number, repeat processing from acquisition of the data set to determination of whether or not the reference condition is satisfied for the prescribed number； and if the reference condition is continuously satisfied for the prescribed number, acquire the data set for the prescribed number as calibration data.SELECTED DRAWING: Figure 2【課題】短時間で高精度な測定装置の校正データを取得することが可能な測定装置の校正方法を提供する。【解決手段】Ｎ個の時系列の測定データを含むデータセットを取得し、最新の測定データを基準データに設定し、残りの（Ｎ－１）個の測定データのそれぞれと基準データとの基準差分が、すべて基準閾値以下であるという基準条件を満たすか否か判定し、基準条件を満たさない場合は、該当する測定データを除外して、除外した分だけ新たに取得した測定データをデータセットに追加し、基準条件を満たすまで、測定データの除外及び追加、基準データの設定並びに基準条件の判定の処理を繰り返し、さらに、基準条件を連続して所定回数満たしたか否か判定し、連続して所定回数満たしていない場合に、データセットの取得から所定回数満たしたかの判定までの処理を繰り返し、連続して所定回数満たした場合に、所定回数分のデータセットを校正データとして取得する。【選択図】図２
