PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic unit 30 with high receiving sensitivity.SOLUTION: An ultrasonic unit 30 includes: ultrasonic elements 20 in which a plurality of ultrasonic cells 10 are formed on a substrate 11 composed of a semiconductor, the ultrasonic cells constituting a first capacitor 71 by disposing an upper electrode 16 to be a ground potential and a lower electrode 12 to which a driving signal is applied to face each other, via a cavity 14A a package member 60 in which the plurality of ultrasonic elements 20 are disposed, the package member 60 becoming a ground potential and an insulating member 63 disposed between the package member 60 and the ultrasonic elements 20. The insulating member 63 becomes a gap to configure a second capacitor 72. A capacity of a third capacitor 73 configured by serially connected to the second capacitor 72 is smaller than the capacity of the second capacitor 72.COPYRIGHT: (C)2014,JPO&INPIT【課題】受信感度の高い超音波ユニット30を提供する。【解決手段】超音波ユニット30は、接地電位となる上部電極16と、駆動信号が印加される下部電極12と、がキャビティ14Aを介して対向配置し第1のキャパシタ71を構成している複数の超音波セル10が、半導体からなる基板11の上に形成された超音波エレメント20と、前記複数の超音波エレメント20が配設された、接地電位となるパッケージ部材60と、前記パッケージ部材60と前記超音波エレメント20との間に配設された絶縁部材63と、を具備し、前記絶縁部材63がギャップとなることにより第2のキャパシタ72が構成され、前記第2のキャパシタ72に直列接続されて構成される第3のキャパシタ73の容量が、前記第2のキャパシタ72の容量よりも小さい。【選択図】図5
