THE TRUSTEES OF COLUMBIA UNIVERSITY IN THE CITY OF NEW YORK
发明人:
JAMES S. IM,UI-JIN CHUNG,ALEXANDER B. LIMANOV,PAUL C. VAN DER WILT
申请号：
MX2012006043
公开号：
MX2012006043A
申请日:
2010.05.04
申请国别(地区):
MX
年份:
2012
代理人:
摘要：
The disclosed systems and method for non-periodic pulse sequential lateral solidification relate to processing a thin film. The method for processing a thin film, while advancing a thin film in a selected direction, includes irradiating a first region of the thin film with a first laser pulse and a second laser pulse and irradiating a second region of the thin film with a third laser pulse and a fourth laser pulse, wherein the time interval between the first laser pulse and the second laser pulse is less than half the time interval between the first laser pulse and the third laser pulse. In some embodiments, each pulse provides a shaped beam and has a fluence that is sufficient to melt the thin film throughout its thickness to form molten zones that laterally crystallize upon cooling. In some embodiments, the first and second regions are adjacent to each other. In some embodiments, the first and second regions are spaced a distance apart.Los sistemas y métodos descritos para la solidificación Lateral secuencial de impulso no periódico se relacionan con el procesamiento de una película delgada. El método para procesar una película delgada, mientras se avanza la película delgada en una dirección seleccionada, incluye irradiar una primera región de la película delgada con un primer impulso láser, en donde el intervalo de tiempo entre el primer impulso láser y el segundo impulso láser es menor que la mitad del intervalo de tiempo entre el primer impulso láser y el tercer impulso láser. En algunas modalidades, cada impulso proporciona un rayo con forma y tiene una influencia que es suficiente para fundir la película delgada a través de su espesor para formar zonas fundidas que se cristalizan en forma lateral luego del enfriamiento. En algunas modalidades, la primera y segunda regiones están adyacentes entre sí. En algunas modalidades, la primera y segunda regiones están separadas por una distancia.
