The invention comprises a sterilizing chamber (8) in which an object (7) is placed, at least one acceleration device (2) for accelerating the fluid at a predetermined flow rate, at least one filter device (3) , Characterized in that the sterilizing device comprises at least an orifice device (4) providing a plurality of openings and a pressure difference (? P And a control device for determining the flow rate of the fluid based on the measured flow rate.본 발명은 대상물(7)이 위치되는 살균 체임버(8)와, 유체를 예정된 유속으로 가속하기 위한 적어도 하나의 가속 디바이스(2)와, 상기 유체로부터 입자를 분리하는 적어도 하나의 필터 디바이스(3)를 포함하는 살균 장치(10) 및 기상 또는 액상 유체에 의해 대상물(7)을 살균하는 방법에 관한 것으로서, 상기 살균 장치는 복수 개의 개구를 제공하는 적어도 오리피스 디바이스(4)와, 압력차(△p)를 기초로 하여 유체의 유속을 결정하는 제어 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.