用于使吸收制品中的吸收结构的表面形貌特征化的方法
- 专利权人:
- 宝洁公司
- 发明人:
- S·M·瓦尔加,W·P·H·L·范德克鲁格特,R·加博
- 申请号：
- CN201580010777.9
- 公开号：
- CN106029031A
- 申请日:
- 2015.02.25
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 摘要：
- 本公开涉及如下方法和设备，所述方法和设备用于在吸收制品的制造期间感测反射光图案中的畸变以产生代表吸收结构的表面形貌的特征图。检测系统可包括邻近转换加工生产线上的推进的吸收结构布置的传感器。继而，控制器可监测并影响转换加工生产线上的各种操作。本文的检测系统也可包括辐射源，所述辐射源用沿横向CD延伸的预先确定的光图案照明吸收结构的表面。传感器感测从吸收结构的被照明表面反射的光图案中的畸变，并且以三角方法测量吸收结构的被照明表面相对于传感器的高度变化。基于所述以三角方法测量的高度变化，传感器产生代表吸收结构的被照明表面的表面形貌的特征图。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
