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ダミーアレイリーク減少のための相変化メモリセル注入
专利权人:
インテル・コーポレーション
发明人:
リウ、ルクン ジェイ.,ルソー、ウゴ,ハイネマン、マックス エフ.
申请号:
JP20170527687
公开号:
JP2018503972(A)
申请日:
2015.11.20
申请国别(地区):
日本
年份:
2018
代理人:
摘要:
本開示の実施形態は、ダミーアレイリーク減少のための相変化メモリセル注入を説明する。一実施形態において、装置は、複数の相変化メモリ(PCM)素子を含み、複数のPCM素子の個別のPCM素子は、底部電極層と、底部電極層上に配置されるセレクトデバイス層と、セレクトデバイス層上に配置される中間電極層と、中間電極層上に配置される相変化材料層と、相変化材料層上に配置される上部電極層とを含むダミーセルであり、相変化材料層は、ダミーセルのセルリークを減少させるべく不純物でドープされる。他の実施形態が、説明および/または特許請求され得る。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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