PROBLEM TO BE SOLVED: To detect a sound wave generated at an inspection object.SOLUTION: A longitudinal wave is irradiated in liquid when an input electric signal is applied. The longitudinal wave is reflected by a diaphragm 4 and detected as a delay electric signal. On the other hand, a connection signal generated by applying the input electric signal is also detected. At this time, if an impact is applied to the inspection object, a sound wave generated in consequence is propagated to the diaphragm 4 through a vibration propagating body 5, and the diaphragm 4 vibrates to vary a clearance between the diaphragm 4 and a counter electrode 3. As a result, an interference signal of the delay electric signal and connection signal is generated. The sound wave generated at the inspection object can thus be detected as the interference signal.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】検査対象において発生する音波を検出することを可能にする。【解決手段】入力電気信号が印加されると、液体中に縦波が照射される。縦波はダイアフラム4によって反射され、遅延電気信号として検出される。一方、入力電気信号の印加により生じる結合信号も検出される。このとき、検査対象に衝撃が加えられると、それにより発生した音波は、振動伝搬体5を介してダイアフラム4に伝搬され、ダイアフラム4が振動し、ダイアフラム4と対向電極3との離間距離が変動する。その結果、遅延電気信号と結合信号の干渉信号が生じる。このようにして、検査対象において発生する音波を干渉信号として検出することを可能にする。【選択図】図1
