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一种基于金属光栅的偏振分束器
- 专利权人:
- 青岛大学
- 发明人:
- 孔伟金,李娜,云茂金,滕冰,刘涛,钟石磊
- 申请号：
- CN201611024043.9
- 公开号：
- CN106324743A
- 申请日:
- 2016.11.15
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 张世功
- 摘要：
- 本发明属于光学器件技术领域，涉及一种基于金属光栅的偏振分束器，其主体结构包括覆盖膜层、光栅结构、光栅槽和基座，覆盖膜层固定覆盖于光栅结构的上表面，覆盖膜层在光栅结构的衍射过程中实现波导层的功效并能够保护光栅结构；银质光栅结构通过蚀刻工艺制得并列式分布的光栅槽，光栅槽的槽深为300nm，光栅占空比为0.21，光栅结构的光栅周期为180nm；SiO2材质的基座固定置于光栅结构的下表面处，该发明以银质光栅结构为基础，衍射效率高、消光比高，偏振性能好，光谱带宽极宽，能够达到207nm，工艺容差性好，性能上满足光学器件领域对偏振分束器的要求，其主体结构简单，使用方便，具有良好的市场应用前景，应用环境友好。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
