流量計測装置及び液体処理システム
- 专利权人:
- キヤノン電子株式会社
- 发明人:
- 吉田 達夫
- 申请号：
- JP20150133959
- 公开号：
- JP2017015609(A)
- 申请日:
- 2015.07.02
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】液漏れ検知機能を有する流量計測装置及び液体処理システムを提供すること。【解決手段】液体が流れる流路を形成する流路形成部材と、この流路形成部材に設けられ流路内を流れる液体の流量を計測する流量計測手段と、流量計測手段よりも下流側に配置され前記流路を開閉する開閉手段と、流路が閉状態のときの流量計測手段の検知結果に基づいて、流路のうち流量計測手段による流量計測位置と開閉手段による流路開閉位置との間の判定区間における液漏れを判定する液漏れ判定手段と、を備えるようにする。【選択図】図１
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