PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress occurrence of element falling without degrading workability in a manufacturing step.SOLUTION: A plurality of vibrators 100 are formed in a state being separated from each other, by dividing a piezoelectric body and a connection conductor part 22a by a first division groove at each specified interval while a plate-like piezoelectric body and the connection conductor part 22a are being stacked. Each of the plurality of vibrators 100 includes a plurality of sub die elements 101 formed by being divided further by a sub die groove parallel to a main die groove 31. The main die groove 31 is formed in such a manner as to be cut into the connection conductor part 22a, and a sub die groove 32 is shorter than the main die groove 31, with its lower end part separated from the connection conductor part 22a.COPYRIGHT: (C)2014,JPO&INPIT【課題】製造工程における作業性を低下させることなく、素子倒れの発生を抑制する。【解決手段】複数の振動子100は、板状の圧電体と接続導体部22aとが積層された状態で、圧電体及び接続導体部22aを所定の間隔毎に第1の分割溝により分割することで互いに分離された状態に形成され、複数の振動子100の各々は、メインダイス溝31と平行なサブダイス溝32により更に分割されて形成された複数のサブダイス素子101を備え、メインダイス溝31は、接続導体部22aに切れ込むように形成され、サブダイス溝32はメインダイス溝31より短く、その下端部は接続導体部22aから離間している。【選択図】図3
