用于激光系统的聚焦物镜的能移动的重量补偿悬架的装置
- 专利权人:
- 视乐有限公司
- 发明人:
- 格哈德·罗布
- 申请号:
- CN201080065117.8
- 公开号:
- CN102834755B
- 申请日:
- 2010.03.03
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 摘要:
- 一种用于激光系统(10)的聚焦物镜(12)的能移动的重量补偿悬架的装置,包括:力产生装置,该力产生装置用于产生抵消所述聚焦物镜(12)的重力的反作用力分量(G);传动装置,该传动装置将所述反作用力分量(G)传递到所述聚焦物镜(12)上并允许所述聚焦物镜的向上/向下补偿运动;引导装置,该引导装置用于能移动地引导所述聚焦物镜,以使在所述聚焦物镜(12)的向上/向下补偿运动期间所述聚焦物镜的光学轴线(O)至少保持其在空间的方位并优选地保持所述聚焦物镜的光学轴线(O)在空间的位置。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心