环氧树脂中空微针阵列的制备方法
- 专利权人:
- 上海交通大学
- 发明人:
- 蒋宏民,朱军,曹莹,杨君,陈翔
- 申请号：
- CN200910308196.X
- 公开号：
- CN101664579B
- 申请日:
- 2009.10.12
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2012
- 代理人:
- 摘要：
- 一种微型电子机械系统技术领域的环氧树脂中空微针阵列的制备方法，采用倾斜旋转与传统光刻有机结合的方法制备SU-8三维微结构，通过调整支架的高度，获得0-90度的支架倾角，然后在水平基板上放置电机，由电机带动粘附在其上的基片自由旋转，并通过外加在电机上直流电压的控制转速，将聚二甲基硅氧烷填充到SU-8三维微结构的模具中，脱模后得到中空微针阵列，在中空微针阵列上溅射金属铬铜复合后再次填充聚二甲基硅氧烷，脱模后得到中空微针阵列模具，在该模具上填充环氧树脂，然后将底部磨至聚二甲基硅氧烷后脱模，即可得到环氧树脂空心微针阵列，制备所得微针的锥形光滑，具有较好的尖端，工作时对皮肤的损伤小。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
