酸素原子生成装置及び酸素原子生成方法
- 专利权人:
- 国立研究開発法人産業技術総合研究所
- 发明人:
- 寺本 慶之,金 賢夏,尾形 敦
- 申请号：
- JP20150159855
- 公开号：
- JP2017036194(A)
- 申请日:
- 2015.08.13
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】高エネルギー効率で酸素原子を生成可能な酸素原子生成装置及び酸素原子生成方法を提供する。【解決手段】パルス電源とパルス電源に接続された放電プラズマリアクタとを備え、時間間隔30μs以下において4〜10回のパルス時間幅100 ns以下のパルス放電プラズマを連続的に、かつ、2回目以降の各パルス放電プラズマ毎に、直前に発生した放電プラズマ領域に70%以上含まれるように、パルス放電プラズマを発生させることを特徴とする。【選択図】図５
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
