PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and an apparatus for plasma-supported surface treatment improved in hardware for surface treatment with plasma of the material.SOLUTION: An apparatus for dry washing, activation, covering and other treatment of a surface 3 uses atmospheric pressure plasma formed in a prescribed gas ambience in a fluid state by surface barrier discharge, and comprises a high-voltage electrode 5 covered by dielectric 4, a grounded electro-conducting contact electrode 2, a high voltage supply unit 7, a gas supply unit 8 and a gas nozzle 1 equipped with a gas outlet aperture 12. The gas nozzle 1 is arranged in close vicinity to the grounded contact electrode 2 or is built into the grounded contact electrode 2, or the gas nozzle 1 is so made as to operate for itself as the grounded contact electrode 2, and the gas outlet aperture 12 is so configured as to direct the gas flow toward the grounded contact electrode 2.【課題】材料のプラズマによる表面処理の装置を改善したプラズマ支援式の表面処理のための方法及び装置の提供。【解決手段】表面3の乾式の洗浄、活性化、被覆等のための装置であって、表面障壁放電により流動状の所定のガス雰囲気内に形成される大気圧プラズマを用いており、誘電体4で覆われた高電圧電極5、接地された導電性の接触電極2、高電圧供給部7及びガス供給部8、並びにガス出口開口部12を備えたガスノズル1を含んでおり、ガスノズル1は、接地された接触電極2のすぐ近くに配置されており、又はガスノズル1は、接地された接触電極2内に組み込まれており、又はガスノズル1自体が、接地された接触電極2として作動するようになっており、かつガス出口開口部12は、流出するガス流を接地された接触電極2に向けるように構成されている。【選択図】図2