PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and an apparatus for plasma-supported surface treatment improved in hardware for surface treatment with plasma of the material.SOLUTION: An apparatus for dry washing, activation, covering and other treatment of a surface 3 uses atmospheric pressure plasma formed in a prescribed gas ambience in a fluid state by surface barrier discharge, and comprises a high-voltage electrode 5 covered by dielectric 4, a grounded electro-conducting contact electrode 2, a high voltage supply unit 7, a gas supply unit 8 and a gas nozzle 1 equipped with a gas outlet aperture 12. The gas nozzle 1 is arranged in close vicinity to the grounded contact electrode 2 or is built into the grounded contact electrode 2, or the gas nozzle 1 is so made as to operate for itself as the grounded contact electrode 2, and the gas outlet aperture 12 is so configured as to direct the gas flow toward the grounded contact electrode 2.【課題】材料のプラズマによる表面処理の装置を改善したプラズマ支援式の表面処理のための方法及び装置の提供。【解決手段】表面３の乾式の洗浄、活性化、被覆等のための装置であって、表面障壁放電により流動状の所定のガス雰囲気内に形成される大気圧プラズマを用いており、誘電体４で覆われた高電圧電極５、接地された導電性の接触電極２、高電圧供給部７及びガス供給部８、並びにガス出口開口部１２を備えたガスノズル１を含んでおり、ガスノズル１は、接地された接触電極２のすぐ近くに配置されており、又はガスノズル１は、接地された接触電極２内に組み込まれており、又はガスノズル１自体が、接地された接触電極２として作動するようになっており、かつガス出口開口部１２は、流出するガス流を接地された接触電極２に向けるように構成されている。【選択図】図２
