Düsenanordnung(1) zur Einspritzung eines Fluids in eine Vakuumkammer, mita)einem Düsenkörper (2)mit einem durchgehenden Düsenkanal(9) und einer ausgangsseitig ausgebildeten Düsenöffnung (10) zur Abgabe desFluids sowie mitb) einer koaxial zu dem Düsenkanal (9) verlaufenden Zuleitungskapillare(8) zur Zuführungdes einzuspritzenden Fluids,dadurch gekennzeichnet, dassdieZuleitungskapillare (8) in Strömungsrichtungbis in den Düsenkanal(9) des Düsenkörpers (2)hinein geführtist, wobei die Zuleitungskapillare (8) und der Düsenkörper (2) derart angeordnetund ausgebildet sind, dass das Totvolumen zwischen der ausgangsseitigenMündungsöffnung der Zuleitungskapillare(8) und der Düsenöffnung (10)kleiner als 2 μlist.Nozzle arrangement (1) for injecting a fluid in a vacuum chamber, ofa) a nozzle body (2) with a continuous nozzle channel (9) and a nozzle opening (10) formed on the output side to the discharge of the fluid as well as withb) a coaxial to the nozzle channel (9) extending supply capillary (8) for supplying the fluid to be injected,characterized in thatthe supply capillary (8) in the direction of flow, to in the nozzle channel (9) of the nozzle body (2) is guided, wherein the supply capillary (8) and the nozzle body (2) are arranged and designed such that the dead volume between the output-side discharge opening of the supply capillary (8) and the nozzle opening (10) is less than 2 μl.
