ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE
发明人:
PARK, HYUNG JUKR,박형주,JUNG, MOON YOUNKR,정문연,KIM, JIN SUNKR,김진선,SONG, DONG HOONKR,송동훈,SHIN, DONG HOKR,신동호,LEE, JI SUKR,이지수,CHO, WON BAEKR,조원배,PYO, HYEON BONGKR,표현봉
申请号：
KR1020160005586
公开号：
KR1020160108811A
申请日:
2016.01.15
申请国别(地区):
KR
年份:
2016
代理人:
摘要：
An apparatus for generating charged particles includes: a light source unit for irradiating a target with laser beam through a condensing unit a sensing unit for sensing the deformation of the target a target restoring unit for laminating material, the same as the material of the target, on the target and a control unit for controlling to allow the target restoring unit to restore the deformation part of the target by using deformation information of the target sensed by the sensing unit.COPYRIGHT KIPO 2016하전 입자 발생 장치는 집광부를 통하여 타겟에 레이저 빔을 조사하는 광원부, 타겟의 변형을 감지하는 감지부, 타겟 상에 타겟의 물질과 동일한 물질을 적층하는 타겟 복원부, 및 감지부가 감지한 타겟의 변형에 대한 정보를 이용하여, 타겟 복원부가 타겟의 변형 부분을 복구하도록 제어하는 제어부를 포함한다.
