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X線遮蔽格子、トールボット干渉計、およびX線遮蔽格子の製造方法
专利权人:
CANON INC
发明人:
SATO GENTA,佐藤 玄太
申请号:
JP2014140030
公开号:
JP2016017815A
申请日:
2014.07.07
申请国别(地区):
JP
年份:
2016
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an X-ray shield grating comprising a plurality of small shield gratings, and capable of reducing a local change in an intensity pattern even when temperature of the X-ray shield grating changes.SOLUTION: An X-ray shield grating 12 comprises a first transmission unit 104, a second transmission unit 106 and a shielding part 108. The first transmission unit 104 includes a transmission part 107 that transmits an X-ray, and a first substrate 103 having a first surface 113 where the transmission part 107 is arranged. The second transmission unit 106 includes a transmission part 107 that transmits an X-ray, and a second substrate 105 having a second surface 115 where the transmission part 107 is arranged. The shielding part 108 is arranged in a region of the first surface 113 where the transmission part 107 is not arranged and in a region of the second surface 115 where the transmission part 107 is not arranged, and includes a connection region 109 arranged so as to come into contact with the first transmission unit 104 and the second transmission unit 106.SELECTED DRAWING: Figure 1COPYRIGHT: (C)2016,JPO&INPIT【課題】 複数の小遮蔽格子を備えるX線遮蔽格子であって、遮蔽格子に温度変化が生じた場合でも、強度パターンの局所的な変化を軽減することができるX線遮蔽格子を提供することを目的とする。【解決手段】 X線遮蔽格子12は、第1の透過ユニット104と第2の透過ユニット106と遮蔽部108とを備える。第1の透過ユニット104は、X線を透過する透過部107と、透過部が配置されている第1の面113を有する第1の基板103とを有する。第2の透過ユニット106は、X線を透過する透過部107と、透過部が配置されている第2の面115を有する第2の基板105とを有する。遮蔽部108は、第1の面の透過部が配置されていない領域と、第2の面の透過部が配置されていない領域と、に配置され、第1の透過ユニットと、第2の透過ユニットとに接するように配置された接続領域109を有する。【選択図】 図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/
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