Scan-System, umfassend:eine Beleuchtungseinrichtung, die derart konfiguriert ist, einen Beleuchtungsstrahl zu erzeugeneine Fixiereinheit, die derart konfiguriert ist, eine in dem Beleuchtungsstrahl zu vermessende Probe mechanisch zu lagern, wobei der Beleuchtungsstrahl so konfiguriert ist, dass er von der Probe reflektiert wird, um ein reflektiertes Licht zu erzeugen undeinen Sensor, der angewinkelt weg von der Beleuchtungseinrichtung positioniert und derart konfiguriert ist, das reflektierte Licht aufzunehmenwobei der Beleuchtungsstrahl ein Wellenlängenspektrum mit einer Halbwertsbreite (FWHM) von kleiner als 100 nm aufweist.Scan - system, comprising:an illumination device which is configured in such a way to produce a light beama fixing device, which is configured in such a way, a sample to be measured in the light beam to be mechanically bearings, wherein the illumination beam is configured such that it is reflected from the sample, in order to produce a reflected light anda sensor, the angled away from the illumination device is positioned and is configured to receive the reflected lightwherein the illumination beam a wavelength spectrum with a full width at half maximum (fwhm) of less than 100 nm.
