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測定装置、移動制御方法及びプログラム
专利权人:
CANON INC
发明人:
YODA HARUO,依田 晴夫
申请号:
JP2013269677
公开号:
JP2014073410A
申请日:
2013.12.26
申请国别(地区):
JP
年份:
2014
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a measuring device enabling an acoustic wave receiver to move in a reduced period of time, and a method for controlling the movement of an acoustic wave receiver.SOLUTION: A target speed at which an acoustic wave receiver 5 is moved during measurement of acoustic waves is calculated by using data on a cycle of pulsed light generation as well as data on the interval of target measuring positions of a specimen. The acoustic wave receiver 5 is moved so that the acoustic wave receiver 5 reaches a first target measuring position at the target speed at a time when a first pulsed light whose acoustic wave is to be measured is generated, and after reaching the target speed, the acoustic wave receiver 5 is constantly moved at the target speed.COPYRIGHT: (C)2014,JPO&INPIT【課題】より短い時間で音響波受信器を移動させることが可能な測定装置及び音響波受信器の移動制御方法を提供する。【解決手段】パルス光の発生周期のデータと被検体の目標測定位置間隔のデータとを用いて、音響波の測定の際に音響波受信器5を移動させる目標速度を計算し、音響波を測定する最初のパルス光が発生する時刻に前記目標速度で最初の目標測定位置に達するように、前記音響波受信器5を移動させ、前記目標速度に達した後は前記目標速度で等速移動をさせる。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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