一种钛铝合金靶材、以及使用该靶材制备玫瑰金颜色的镀膜方法
- 专利权人:
- 广东迪奥应用材料科技有限公司
- 发明人:
- 黄华凛
- 申请号：
- CN201510404563.1
- 公开号：
- CN105018885A
- 申请日:
- 2015.07.10
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 王少强`黄培智
- 摘要：
- 本发明公开了一种钛铝合金靶材、以及使用该靶材制备玫瑰金颜色的镀膜方法，按重量百分比计，所述靶材包括82-86％的钛、14-18％的铝，以及少量微量元素。本发明的钛铝合金靶材，通过合理的钛铝成分比例配置，使得膜层不发黑发蒙；本发明的玫瑰金镀膜的制备方法中，在靶材的靶面设置了沿磁场方向的碗状面、锥面或者马鞍型面，能使得离化率更高，有利于快速成色，无需太多次的预镀就可以制备出玫瑰金颜色的膜层，膜层不发蒙发黑、红度大、可保持色调的稳定。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
