用于扫描差分相位衬度系统的相位恢复
- 专利权人:
- 皇家飞利浦有限公司
- 发明人:
- E·勒斯尔,H·A·帕斯汀克,T·克勒,H·德尔,U·范斯特文达勒,G·马滕斯
- 申请号：
- CN201480069101.2
- 公开号：
- CN105828716B
- 申请日:
- 2014.03.12
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 一种相位衬度成像装置(MA)和有关的图像处理方法。所述成像装置包括:可移动臂(AR),其承载探测器(D);以及,一个或多个干涉仪光栅(G0、G1、G2)。所述成像装置包括硬化器(RGD),其用于控制至少所述臂(AR)或用于所述光栅(G0、G1、G2)的安装物(GM)的硬度。这允许控制在读出结果的序列中探测到的莫尔图案的漂移。通过使用所述图像处理方法,如此控制的莫尔图案的相位能够被用于校准所述成像装置。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
