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垂直磁気記録媒体における軟磁性膜層用ＣｏＦｅ系合金およびスパッタリングターゲット材
- 专利权人:
- 山陽特殊製鋼株式会社
- 发明人:
- 澤田 俊之
- 申请号：
- JP20160210293
- 公开号：
- JP2017082330(A)
- 申请日:
- 2016.10.27
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】 本発明は、垂直磁気記録媒体における軟磁性薄膜層用ＣｏＦｅ系合金およびスパッタリングターゲット材を提供する。【解決手段】 原子％で、Ｇｅ，Ｒｕ，Ｒｈ，Ｐｄ，Ｒｅ，Ｏｓ，Ｉｒ，Ｐｔを１種以上、Ｓｃ，Ｙ，ランタノイド（原子番号５７〜７１），Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗ，Ｂを１種以上、残部Ｃｏ，Ｆｅおよび不可避的不純物からなり、下記の式（１）〜（４）を全て満たすことを特徴とした、垂直磁気記録媒体における軟磁性膜層用合金。（１）０．１％≦ＴＣＲ≦１０％（２）５％≦ＴＡＭ≦２５％（３）１３％≦ＴＣＲ／２＋ＴＡＭ＋ＴＮＭ≦２５％（４）０．２≦Ｆｅ％／（Ｆｅ％＋Ｃｏ％）≦０．８０【選択図】 図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
