A method of decontamination of a device comprising the steps of: dispersing decontamination fluid as a vapor into a decontamination chamber comprising a device to be decontaminated, the decontamination fluid containing peracetic acid and water Controlling the dispersion rate of the decontamination fluid so that the environment in the contamination control room is less than or equal to 45% relative humidity through a decontamination cycle defined from when the device is placed in the pollution control room until the device is removed from the pollution control room Wherein the decontamination cycle achieves a sterilization assurance level of at least 10 minus 3 wins.기기를 오염 제거하는 방법은, 증기로서의 오염 제거 유체를 오염 제거될 기기를 포함하는 오염 제거실내로 분산시키는 단계로서, 상기 오염 제거 유체는 과아세트산 및 물을 함유하는, 상기 분산시키는 단계 기기가 오염 제거실에 배치될 때부터 기기가 오염 제거실로부터 제거될 때까지로 정의된 오염 제거 사이클을 통해 오염 제거실 내의 환경이 상대 습도 45% 이하가 되도록 오염 제거 유체의 분산율을 제어하는 단계로서, 상기 오염 제거 사이클은 적어도 10의 마이너스 3승의 멸균 보장 수준을 달성하는, 상기 제어하는 단계를 포함한다.
