具有传感器设备的丝锯装置
- 专利权人:
- 应用材料瑞士有限责任公司
- 发明人:
- C·佐米尼,M·比约
- 申请号：
- CN201320629842.4
- 公开号：
- CN203739024U
- 申请日:
- 2013.10.12
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2014
- 代理人:
- 张欣
- 摘要：
- 本实用新型公开了具有传感器设备的丝锯装置。本实用新型提供用于锯切半导体工件的丝锯装置(200)。所述丝锯装置包括：用于接收绕线管(250)的绕线管接收设备(210)，所述绕线管在绕线管的每一端包括绕线管凸缘(260；270)；和传感器设备(220)，用于测量至少一个所述绕线管凸缘(260；270)的操作状态。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
