The present invention is provided to increase the generation of active species and to suppress the generation of ozone. A plasma generation device (100) includes a pair of electrodes (21, 22) having dielectric films (21a, 22a) on at least one side of facing surfaces thereof, a voltage applying unit (4) which discharges plasma by applying pulse voltage between the electrodes, and fluid communication holes (21b, 22b) which are installed in locations corresponding to each electrode. When fluid passes the fluid communication holes, ions or radicals are generated by contacting plasma. The voltage applying unit changes the peak value of pulse voltage applied to the electrodes, pulse width, or quantum.COPYRIGHT KIPO 2014[Reference numerals] (AA,CC) Deodorization(BB) Wind(DD) Active species (ion, radical)(EE) Sterilize attached bacteria본 발명은 활성종의 생성량을 증가시키면서도 오존의 발생량을 억제하는 것을 목적으로 하고, 대향면의 적어도 일측에 유전체막(21a, 22a)을 마련한 한 쌍의 전극(21, 22), 상기 전극(21, 22) 간에 펄스 전압을 인가하여 플라즈마 방전시키는 전압 인가 수단(4), 및 각 전극(21, 22)의 대응하는 개소에 각각 설치되어 전체적으로 관통하도록 구성된 유체 유통홀(21b, 22b)을 포함하고, 상기 유체 유통홀(21b, 22b)을 유체가 통과하는 경우에 상기 플라즈마와 접해서 이온 또는 라디칼이 발생하도록 구성된 플라즈마 발생 장치(100)로서, 상기 전압 인가 수단(4)은 상기 전극(21, 22) 간에 인가되는 펄스 전압의 피크 값 또는 펄스 폭 혹은 그 양자를 변화시킨다.
