DATE TAKASHI,伊達 崇,SATO GENTA,佐藤 玄太,YAMAGUCHI MASAAKI,山口 公明
申请号：
JP2014156730
公开号：
JP2016032573A
申请日:
2014.07.31
申请国别(地区):
JP
年份:
2016
代理人:
摘要：
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a Talbot interferometer that performs a fringe scanning method using at least less moving distance or movement frequencies than a Talbot interferometer performing a fringe scanning method using raster scan.SOLUTION: A Talbot interferometer 110 comprises a diffraction grating 4, a shield grid 5, a detector 6 and movement means 10. The movement means moves either a first intensity distribution to be formed by the diffraction grating or the shield grid in a first direction and a second direction, the detector detects X-rays in synchronization with this transfer, and then the Talbot interferometer 110 performs a two-dimensional (x-axis direction and y-axis direction) fringe scanning method. A moving frequency of the first intensity distribution or the shield grid by the movement means in association with the fringe scan in the x-axis direction and that in the y-axis direction is less than Dx × (Dy+1)-2. However, Dx means a frequency of the detection in association with the fringe scan in the x-axis direction and Dy means a frequency of the detection in association with the fringe scan in the y-axis direction.SELECTED DRAWING: Figure 1COPYRIGHT: (C)2016,JPO&INPIT【課題】 ラスタースキャンを用いた縞走査法を行うトールボット干渉計よりも、移動距離と移動回数のうち、少なくともいずれかが少ない縞走査法を行うトールボット干渉計を提供する。【解決手段】 トールボット干渉計110は、回折格子4と遮蔽格子5と検出器6と移動手段10とを備える。移動手段は、回折格子により形成される第1の強度分布又は遮蔽格子を第1の方向と第2の方向とに移動させ、検出器がこの移動と同期してX線の検出を行うことで、トールボット干渉計110は2次元(x軸方向とy軸方向)の縞走査法を行う。x軸方向における縞走査とy軸方向における縞走査とに伴う、移動手段による第1の強度分布又は遮蔽格子の移動回数は、Dx×(Dy+1)-2より少ない。但し、Dxは前記x軸方向における縞走査に伴う前記検出の回数、Dyは前記y軸方向における縞走査に伴う前記検出の回数とする。【選択図】 図1
