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一种可挥发性有机物气体敏感材料及其制造方法
- 专利权人:
- 武汉微纳传感技术有限公司
- 发明人:
- 雷鸣
- 申请号：
- CN201610950342.9
- 公开号：
- CN106546702A
- 申请日:
- 2016.11.03
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 李静
- 摘要：
- 本发明公开了一种可挥发性有机物气体敏感材料，其由钯、铜、钨多组分掺杂的二氧化锡开口碗状多级纳米结构组成，其制备方法为：1）将水合锡酸钾加入去离子水和乙醇混合溶液中，得锡酸钾溶液；2）依次加入尿素和钯、铜、钨掺杂前躯体，得均匀混合溶液；3）将上述溶液加热进行高压水热合成反应；4）反应得纳米粒子沉淀，去离子水洗去掉可溶性杂质离子，离心收集沉淀；5）低温干燥，得到钯、铜、钨多组分掺杂的二氧化锡开口碗状多级纳米结构粉体。本发明制备的多组分掺杂金属氧化物半导体气体敏感材料烧结温度低（≤500℃），稳定性好，对可挥发性有机物气体灵敏度高，响应恢复速度快，材料制备工艺简单，成本低，适合应用于MEMS气体传感器上。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
