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与成像和激光测量结合的检查
- 专利权人:
- 光学技术注册协会莱布尼兹研究所
- 发明人:
- 伊万·W·席,杨威,于尔根·波普
- 申请号:
- CN201880080026.8
- 公开号:
- CN111511270A
- 申请日:
- 2018.12.12
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要:
- 用于检查样品(2)的设备(100),包括用于获得样品(2)的概览图像(21)的成像装置(1)、用于使用从孔眼(31)射出的激光束(32)来局部询问样品(2)的至少一个特性(22)的测量仪器(3),还包括用于确定样品(2)上当前通过激光束(32)询问的位置(23)的跟踪装置(4)以及存储器(6),在存储器中通过激光束(32)询问的特性(22)与样品(2)上确定的位置(23)相关联,其中跟踪装置(4)被体现为通过评估在过程中从概览图像(21)产生的激光点(32a)来确定激光束(32)照到样品(2)的位置(23)和/或通过测量孔眼(31)的位置(31a)和取向(31b)来确定该位置(23)。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址:
- http://www.ckcest.cn/home/