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MAGNETISM MEASURING INSTRUMENT, AND METHOD FOR MANUFACTURING MAGNETISM SENSOR ELEMENT
专利权人:
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD;住友電気工業株式会社
发明人:
IKEDA KAZUHIRO,池田 和寛,TATSUMI NATSUO,辰巳 夏生,SUMIYA HITOSHI,角谷 均
申请号:
JP2010261531
公开号:
JP2012110489A
申请日:
2010.11.24
申请国别(地区):
JP
年份:
2012
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetism measuring instrument capable of measuring magnetism of sufficient intensity from a measuring target, and a method for manufacturing a magnetism sensor element.SOLUTION: The magnetism measuring instrument includes a detector 1 for detecting magnetism using electronic spin resonance and a base part 7 loaded with the detector 1. The detector 1 has the magnetism sensor element 1a provided to the leading end part 1b thereof and the magnetism sensor element 1a comprises diamond for outputting an electron spin resonance signal. The diamond of the magnetism sensor element 1a contains aC atom with an atom concentration of 0.01% or below and a nitrogen atom with an atom concentration of 100 ppm or below and the number of nitrogen atoms contained in the diamond of the magnetism sensor element 1a and adjacent to the vacancy in the diamond is 5% or above of the number of the nitrogen atoms contained in the diamond of the magnetism sensor element 1a. A base part 7 has a main surface and also has a position adjusting part for adjusting the position of the leading end part 1b in the direction crossing the main surface.【課題】計測対象から十分な強度の磁気を計測できる磁気計測装置と磁気センサ素子の製造方法とを提供する。【解決手段】電子スピン共鳴を用いて磁気を検出する検出器1と、検出器1を搭載するベース部7と、を備える。検出器1は検出器1の先端部1bに設けられた磁気センサ素子1aを有し、磁気センサ素子1aは電子スピン共鳴信号を出力するダイヤモンドからなり、磁気センサ素子1aのダイヤモンドは0.01%以下の原子濃度の13C原子と100ppm以下の原子濃度の窒素原子とを含み、磁気センサ素子1aのダイヤモンドに含まれており磁気センサ素子1aのダイヤモンド内の空格子点に隣接する窒素原子の数は磁気センサ素子1aのダイヤモンドに含まれている窒素原子の数の5%以上であり、ベース部7は、主面を有しており、先端部1bの位置をこの主面と交差する方向で調整するための位置調整部を有する。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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