PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a drive device for contactless sensors and a contactless sensor with which it is possible to heighten detection accuracy.SOLUTION: There is provided a drive device for contactless sensors equipped with a substrate (18) on which a plurality of voids (20) are formed, a flexible plane (24) for partitioning some voids, and a piezoelectric element (5) provided on the flexible plane in correspondence to the voids, wherein the drive device includes a signal generation circuit for generating a first drive signal (VDR) applied to a plurality of first piezoelectric elements and a second drive signal (VAD) applied to a second piezoelectric element different from the first piezoelectric element, the first drive signal causing a first vibration unit consisting of the first piezoelectric element for transmitting a sound wave toward a measurement object and a flexible plane corresponding thereto to vibrate, the second drive signal causing a second vibration part consisting of the second piezoelectric element and a flexible plane corresponding thereto to be placed into a deformed state at least in a vibration period of the first vibration unit.SELECTED DRAWING: Figure 9COPYRIGHT: (C)2018,JPO&INPIT【課題】検知精度を高めることが可能な非接触センサー用駆動装置および非接触センサーを提供する。【解決手段】複数の空部(20)が形成された基板(18)と、空部の一部を区画する可撓面(24)と、空部に対応して可撓面に設けられた圧電素子(5)と、を備える非接触センサー用駆動装置であって、複第1圧電素子に印加する第1駆動信号(VDR)と、第1圧電素子とは異なる第2圧電素子に印加する第2駆動信号(VAD)を発生する信号発生回路を備え、第1駆動信号は、測定対象に向けて音波を発信させるため第1圧電素子およびこれに対応する可撓面からなる第1振動部を振動させる信号であり、第2駆動信号は、少なくとも第1振動部の振動期間において第2圧電素子およびこれに対応する可撓面からなる第2振動部を変形させた状態とする信号であることを特徴とする。【選択図】図9
