PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic transducer with grooves on both ends of a transducer element, wherein an area ratio of a cell area occupying the whole is not reduced without lowering the output of generated ultrasonic waves.SOLUTION: The electrostatic capacity type ultrasonic transducer is configured of: transducer elements each of which is composed of a silicone board, a first electrode set on the top surface of the silicone board, a second electrode which faces the first electrode and is set at a predetermined distance from the first electrode, and a membrane which supports the second electrode and is a minimum unit to output/input drive control signals and flexible printed boards joined to the back faces of the silicone boards via electrode pads. The groove is set between neighboring transducer elements, and a conductive membrane is formed on the groove.COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT【課題】振動子エレメントの両端に溝部を設けた静電容量型超音波振動子において、全体に占めるセル領域の面積比率を低下させず、かつ発生させる超音波の出力低下のない静電容量型超音波振動子を提供する。【解決手段】シリコン基板と、該シリコン基板の上面に配設された第1の電極と、該第1の電極と対向し所定の空隙を隔てて配設された第2の電極と、該第2の電極を支持するメンブレンとからなる振動子セルから構成され、駆動制御信号を入出力する最小単位である振動子エレメントと、前記シリコン基板の背面に電極パッドを介して接合したフレキシブルプリント基板とから構成される静電容量型超音波振動子において、隣接する前記振動子エレメント間に溝部が設けられ、該溝部に導電膜が形成されていることにより、上記課題の解決を図る。【選択図】 図4
