PROBLEM TO BE SOLVED: To secure flatness of an X-ray incident surface and make the sensitivity of an X-ray constant.SOLUTION: An X-ray sensor comprises a vacuum-sealed body case 19a including a target section 12 and an electron source 16, which are sequentially placed in the body case 19a. An X-ray incident surface facing the target section 12 of the body case 19a is provided and the surface roughness of an outer face 31 of the X-ray incident surface is rougher than that of an inner face 32 of the X-ray incident surface.COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT【課題】X線入射面の平面度を確保し、X線の感度を均一にすることを目的とするものである。【解決手段】真空密封された本体ケース19aと、この本体ケース内19aに順次設けられたターゲット部12と、電子源16と、を備え、前記本体ケース19aのターゲット部12に対向する面をX線入射面とし、このX線入射面の外面31の表面粗さは、この内面32の表面粗さよりも粗く形成したX線センサであり、これにより課題を解決するものである。【選択図】図4
