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感光性樹脂組成物、感光性樹脂組成物フィルム、硬化物、絶縁膜および多層配線基板
- 专利权人:
- 東レ株式会社
- 发明人:
- 桂田 悠基,青木 幸一,篠原 英樹
- 申请号：
- JP20160522069
- 公开号：
- JPWO2016158389(A1)
- 申请日:
- 2016.03.15
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 本発明は、高解像度で、露光マージンが広く、断面形状が矩形状のパターンを形成し、優れた耐熱性を有する膜を形成することができる感光性樹脂組成物を提供するものであり、（ａ）主鎖末端に、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基およびチオール基からなる群より選ばれる少なくとも一つの基を有するポリイミド、（ｂ）モノマー、（ｃ）熱架橋性化合物、（ｄ）光重合開始剤ならびに（ｅ）重合禁止剤を含有し、（ｅ）重合禁止剤が、ナフタレン骨格またはアントラセン骨格を有する化合物のナフタレン骨格またはアントラセン骨格に、少なくとも一つの水酸基、アルコキシ基、アリールオキシ基またはアラルキルオキシ基が付加した化合物であることを特徴とする感光性樹脂組成物である。【選択図】なし
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
