Probes with fiducial targets, probe systems including the same, and associated methods. The probes include a probe body, a probe beam, a probe tip configured to contact a device under test (DUT), and a fiducial target affixed to the probe beam. The fiducial target is configured to be visible to an optical system to determine a position of the probe tip relative to the DUT. The methods include methods of utilizing and/or manufacturing the probes.L'invention concerne des sondes ayant des cibles d'alignement, des systèmes de sonde les comprenant, et des procédés associés. Les sondes comprennent un corps de sonde, un faisceau de sonde, une pointe de sonde configurée pour entrer en contact avec un dispositif à l'essai (DUT), et une cible d'alignement fixée au faisceau de sonde. La cible d'alignement est configurée pour être visible par un système optique pour déterminer une position de la pointe de sonde par rapport au DUT. Les procédés comprennent des procédés d'utilisation et/ou de fabrication des sondes.
