Improved optical axis with the direction of interference contrast tomography imaging device and the reference mirror is equipped with a multi-faceted for it is disclosed. An optical interference tomographic imaging apparatus, the reference mirror is a mirror of the multi-layer structure having at least two reflecting surfaces, so as to have a phase difference of a half wavelength of each other, each reflecting the light reflected from the surface or an odd multiple, the first half surface and the first reflection surface is configured with a quarter length of the wavelength of the light source or by having at least one second reflecting surface having an optical path difference is an odd multiple of his. In this case, access to the reference reflector with a multiple reflection surface does not increase the bandwidth of the light source does not require a large bandwidth performance of the optical component, there is an advantage for the path of the dispersion compensation in each of the arms does not require interference. Thus, a single-layer optical interference using such standard mirror image apparatus depth direction contrast is significantly improved various precision thick-film technology is required by the pharmaceutical industry, a single-layer image, the semiconductor industry, the plastic industry element, can be applied to the transparent device industry, medical equipment industry, etc. there.향상된 축방향 콘트라스트를 가지는 광학 간섭 단층 영상 장치 및 이를 위한 다중면을 구비한 기준 반사경이 개시된다. 광학 간섭단층 영상 장치에 있어서, 기준 반사경은 적어도 2개 이상의 반사면을 가진 다층 구조의 반사경으로서, 각 반사면에서 반사된 광이 서로 반파장 혹은 그 홀수 배의 위상 차이를 가지도록, 제 1 반사면 및 제 1 반사면과 광원 파장의 1/4 길이 혹은 그의 홀수 배의 광 경로 차이를 가지는 적어도 하나 이상의 제 2 반사면을 구비하여 구성된다. 이러한 다중 반사면을 가진 기준 반사경을 이용할 경우에는 광원의 대역폭을 증가시키지 않으므로 광학 부품의 큰 광대역 성능을 요구하지도 않고, 각 간섭 팔에서의 경로에 대한 분산 보상도 요구하지 않는 장점이 있다. 따라서, 이러한 기준 반사경을 이용한 광학 간섭단층 영상 장치는 깊이 방향 콘트라스트가 현저히 향상된 단층 영상을 통해서 각종 정밀 후막 기술이 필요한 제약 산업, 반도체 산업, 플라스틱 소자 산업, 투명 소자 산업, 의료 기기 산업 등에 응용될 수 있다.
