用于生成和递送低温等离子体的装置

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专利权人:

纳华公司

发明人:

陈猛,A·里茨,马正煜

申请号：

CN201880019079.9

公开号：

CN110446530A

申请日:

2018.19.03

申请国别(地区):

CN

年份:

2019

代理人:

摘要：

本公开提供了一种低温等离子体发生系统。在一种实现方式中,该系统包括具有接地电极和至少一个高压电极的多个电极。接地电极和高压电极被布置成使得接地电极的端头和至少一个高压电极的端头具有竖直高度差。

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/