This flow rate control device comprises a plurality of flow rate control units. Each flow rate control unit further includes: a flow rate control unit main body； a flow path that is positioned inside the flow rate control unit main body； a valve seat positioning part that is a depression or a through hole positioned upon the flow path and open to at least a first surface of the flow rate control unit main body； a valve seat that is positioned on the inner side of the valve seat positioning part； and a diaphragm part that is formed from a resin, is positioned so as to cover an opening part of the valve seat positioning part, and is configured so as to adhere closely to the valve seat and to block the flow path by plastic deformation in response to external pressure. The plurality of flow rate control units are connected such that the respective flow paths are mutually connected in parallel.L'invention concerne un dispositif de régulation de débit comprenant une pluralité d'unités de régulation de débit. Chacune des unités de régulation de débit comprend en outre : un corps principal d'unité de régulation de débit ； un trajet d'écoulement qui est positionné à l'intérieur du corps principal d'unité de régulation de débit ； une partie de positionnement de soupape qui est un creux ou un trou traversant qui est positionné sur le trajet d'écoulement et qui est ouvert sur au moins une première surface du corps principal d'unité de régulation de débit ； une soupape qui est positionnée sur le côté interne de la partie de positionnement de soupape ； et une partie diaphragme qui est formée à partir d'une résine, est positionnée de manière à recouvrir une partie d'ouverture de la partie de positionnement de soupape et est configurée de manière à adhérer étroitement à la soupape et à bloquer le trajet d'écoulement par une déformation plastique en réponse à une pression externe. La pluralité d'unités de régulation de débit est raccordée de sorte que les trajets d'écoulement respec
