miniature x-ray source type mems techniques, made mikroin\u017cynieryjnymi using bondingu anode, using mikropomp\u0119 is characterised by having pr\u00f3\u017cnioszczelne chamber: mikrokomor\u0119 source and combined with her mikropomp\u0119, with mikrokomora source is built with electrodes arranged alternately and dystansownik\u00f3w,at the same time, its forming housing: successively from the cathode (and), the basis for the first dystansownika (b), (c), the second extraction electrodes dystansownika (d), (e), the third steering electrodes dystansownika (f) and (g) an anode, providing a basis for the upper, of which, besides skr ajnymi electrodes, these elements have this was concentric, przelotowe openingswhile the electrode extraction (c) and (d) a second dystansownik are common to mikrokomory source and mikropompy, in the second dystansowniku (d) is made and the channel connecting mikropomp\u0119 with mikrokomor\u0105 source.Miniaturowe źródło promieniowania rentgenowskiego typu MEMS, wykonane technikami mikroinżynieryjnymi z wykorzystaniem bondingu anodowego, wykorzystujące mikropompę charakteryzuje się tym, że ma próżnioszczelne komory: mikrokomorę źródła oraz połączoną z nią mikropompę, przy czym mikrokomora źródła zbudowana jest z ułożonych naprzemiennie elektrod i dystansowników, stanowiących jednocześnie jej obudowę: kolejno z katody (A), stanowiącej podstawę dolną, pierwszego dystansownika (B), elektrody ekstrakcyjnej (C), drugiego dystansownika (D), elektrody sterującej (E), trzeciego dystansownika (F) i anody (G), stanowiącej podstawę górną, z czego, poza skrajnymi elektrodami, elementy te posiadają współśrodkowe, przelotowe otwory, natomiast elektroda ekstrakcyjna (C) i drugi dystansownik (D) są wspólne dla mikrokomory źródła i mikropompy, w drugim dystansowniku (D) wykonany jest zaś kanał łączący mikropompę z mikrokomorą źródła.
