A sensor chip (1030) for gas has cells (200) for emitting and receiving ultrasound and is configured for a sufficiently large frequency range and for measuring concentration of at least one of the gas components based on at least two responses within the range. The frequency range can be achieved by varying the size of cell membranes (230), varying bias voltages, and/or varying air pressure for an array (205) of cMUTs or MEMS microphones. The sensor chip can be applied in, for example, capnography. A measurement air chamber (515) is implemented in the respiratory pathway (400), and it and/or the pathway may be designed to reduce turbulence in the exhaled breath (120) subject to ultrasound interrogation. The chip (1030) can be implemented as self-contained in the monitoring of parameters, obviating the need for off-chip sensors.ガスのためのセンサチップ（１０３０）は、超音波の送受信のためのセル（２００）を含み、前記センサは、十分な大きさの周波数範囲を持ち、前記範囲の少なくとも２つの応答に基づいて前記ガス成分の少なくともひとつの成分の濃度を測定するように構成される。前記周波数範囲はセル膜（２３０）のサイズの変更、バイアス電圧の変更、及び／又はｃＭＵＴ又はＭＥＭＳマイクロホンのアレイ（２０５）の空気圧力を変更することで達成することができる。前記センサチップは、例えば、カプノグラフに適用できる。測定空気チャンバ（５１５）は、呼吸通路内（４００）で実施され得る。測定空気チャンバ及び／又は呼吸通路は、超音波調査のために呼気呼吸（１２０）内の乱流を抑制するように設計される。チップ（１０３０）は、自己内包型でパラメータのモニタに実施することができ、オフチップセンサを省略することができる。
